詳細摘要： 多腔體磁控濺射團簇系統（用于金屬和氧化物）
產品型號：所在地：上海更新時間：2026-06-02 在線留言上海續波光電技術有限公司
上海續波光電技術有限公司
詳細摘要： 關鍵詞：多靶磁控濺射、共濺射、Co-sputter、金屬膜、氧化膜、半導體膜、非金屬膜、約瑟夫森結、超導、量子器件、量子比特、Qubit、鈮基超導、氮化鈮、鈦氮...
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